工艺管理

1.配方管理：工艺路线定义与配方下发和监控

2.参数监控：关键工艺参数实时监控，包括参数变更记录，超限预警

3.工艺点检：周期性自动点检，发现问题处理闭环

4.稳定性分析：多批次之间工艺稳定性对比

5.产品追溯：对不良品进行追溯与分析，寻找工艺黄金路线与配方

6.工器具管理：工器具维护保养，上下线管理

7.工艺提升：大数据分析工艺过程，提升工艺

8.文档与简报：工艺简报